磁致伸缩微位移驱动器性能测试分析     

张梦良  戚永军  杨斌堂 《天文研究与技术》2009,6(4)

介绍了磁致伸缩微位移驱动器的工作原理,分析了检测方法,设计了使用双频激光干涉仪作为测量基准的测试平台;对该驱动器的位移的输出特性进行了测试,通过拟合处理对测试结果进行数据分析,可提高超磁致伸缩微位移驱动器的线性度和控制精度,使得驱动器性能改善.基于磁致伸缩效应原理研制的微位移驱动器,具有线性好、分辨率高、精度高等优点,经测试,达到了设定的参数指标要求.  相似文献