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利用线阵CCD分辨率高、像素均匀等特点对光栅莫尔条纹进行细分是目前广泛采用的一种新技术。由于CCD具有自扫描能力,能将光强随空间分布的莫尔条纹信号转换成随时间变化的电信号,从而可以对光栅刻线的像的移动进行精确定位和直接数字化,改变传统莫尔条纹位相细分方法,实现对光栅栅距进行高倍数的细分。 相似文献
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