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| 基于分子电子传感器技术可用于行星探测的微型地震仪 | |
| 引用本文： | H.Huang,;B.Carande,;R.Tang,;J.Oiler,;D.Zaitsev,;V.Agafonov,;H.Y.Yu,;孙宏志,;赵龙梅,;卢山,;刘一萌,;高业欣,;吕春来.基于分子电子传感器技术可用于行星探测的微型地震仪[J].世界地震译丛,2014(5):109-114. |
| 作者姓名： | H.Huang ;B.Carande ;R.Tang ;J.Oiler ;D.Zaitsev ;V.Agafonov ;H.Y.Yu ;孙宏志 ;赵龙梅 ;卢山 ;刘一萌 ;高业欣 ;吕春来 |
| 作者单位： | [1]不详; [2]辽宁省地震局 |
| 摘 要： | 描述了一种基于分子电子传感器（MET）技术的微型机械地震计的研制过程。不同于固体惯性质量,分子电子传感器地震计是探测液体电解质相对于固定电极的移动。使用微机电系统技术将探测单元的内部尺寸减小到1μm并且提高了设备的再现性。对600mV的工作偏置电压,在0.32Hz的400μg（g≡9.81m/s2）加速度条件下可测得灵敏度为809V/（m/s2）。在1Hz获得的噪声水平为-115dB（相对于（m/s2）/Hz~（1/2））。这项工作研发了一个可供选择小尺寸、高灵敏度、低本底噪声、高振动范围和独立安装角度的地震计设备。这有希望成为下一代行星探测用的地震仪。 |
| 关 键 词： | 传感器技术 行星探测 分子电子 微型机械 地震仪 微机电系统技术 电子传感器 高灵敏度 |
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