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反应离子镀铟锡氧化物透明导电薄膜的物理特性

引用本文：	崔元日 ,徐星浩 ,金昭廷.反应离子镀铟锡氧化物透明导电薄膜的物理特性[J].测绘学院学报,1984(1).

作者姓名：	崔元日徐星浩金昭廷

摘要：	离子镀是真空蒸镀与溅射相结合的新工艺。本文着重讨论反应离子镀铟锡氧化物透明导电薄膜的物理特性跟铟锡蒸发物组分之关系,由此得出:反应离子镀工艺,只要恰当的选择蒸发物组分和充氧压,可以获得透光率和导电性能高的透明导电薄膜。
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