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| 离子探针的最新进展及其在地球化学研究中的应用 | |
| 引用本文： | 魏春生,张国平.离子探针的最新进展及其在地球化学研究中的应用[J].矿物岩石地球化学通报,1992(4). |
| 作者姓名： | 魏春生 张国平 |
| 作者单位： | 中国科学院地球化学研究所，中国科学院地球化学研究所 贵阳 550002，贵阳 550002 |
| 摘 要： | 离子探针(或称二次离子质谱)是应用质谱研究一次离子束轰击样品表面产生的二次离子质量特征的大型分析仪器。早期离子探针受质量分辨率不高、高真空进样系统技术不过关、一次离子束束斑较大且种类有限,以及一次离子束轰击电不良导体(如最常见的各种硅酸盐矿物)表面产生的严重荷电等诸因素的限制,只能对金属、半导体和合金材料做小区域(>100μm)元素丰度分析。当时它唯一的优势是能进行深度剖面研究。因而这一技术在地球化学研究中的应用极其有限。 1.现代离子探针主要功能的改进及其独特的优势当前科学技术的迅猛发展,对离子探针性能的要求愈来愈高,加之现代科学技术的进步,使离子探针的功能不断增强,性能逐渐提 |
| 关 键 词： | 离子探针 微束分析 |
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