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激光法气相合成纳米Si/C/N复相粉体
引用本文:赵东林,潘正伟,周万城.激光法气相合成纳米Si/C/N复相粉体[J].地球科学与环境学报,1998,20(4):20.
作者姓名:赵东林  潘正伟  周万城
作者单位:西安工程学院资源与材料工程系(赵东林),中国科学院物理研究所(潘正伟),西北工业大学凝固技术国家重点实验室(周万城)
摘    要:用大功率5kWCO2激光器为能源,以六甲基二硅胺烷[(CH3)3Si]2NH(简称HMDS)和NH3为原料,合成纳米非晶Si/C/N复相粉体。研究了HMDS流量和NH3对纳米复相粉体组成的影响。NH3的加入可以大幅度降低纳米复相粉体的碳含量,提高氮含量。Si/C/N纳米复相粉体的粒径分布范围为10~50nm,为非晶态。

关 键 词:激光  六甲基二硅胺烷  NH_3  Si/C/N  纳米复相粉体
修稿时间:1997-08-05

SYNTHESIS OF Si/C/N NANOCOMPOSITE POWDERS BY LASER INDUCED GAS PHASE REACTION
Zhao Denglin.SYNTHESIS OF Si/C/N NANOCOMPOSITE POWDERS BY LASER INDUCED GAS PHASE REACTION[J].Journal of Earth Sciences and Environment,1998,20(4):20.
Authors:Zhao Denglin
Abstract:
Keywords:laser  hexamethyldisilazane  NH  3  Si/C/N nanocomposite powder  
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