聚焦式X射线谱仪研究 |
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引用本文: | 魏明秀.聚焦式X射线谱仪研究[J].矿产与地质,1983(2). |
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作者姓名: | 魏明秀 |
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摘 要: | 直进式聚焦X射线谱仪具有元素分析范围宽广(Be~4 ~U~(92)),波长分辩率高等优点,在近代电子探针、扫描电子显微镜及弯晶X射线荧光光谱仪上得到广泛地应用.本文探讨了有关的X射线光学与运动几何学原理,归纳了相应的聚焦公式,分析对比了Ⅰ~Ⅳ类不同运动方式的谱仪结构,导出Ⅴ类结构——一种新型的谱仪.由于它克服了钢丝绳恒长原理结构带来的弊病,理论分析表明比其它类型谱仪有优越性,看来更能满足近代电子显微分析仪器日益提高的精度要求.
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