| 三甲胺[N(CH_3)_3]MIS传感器的研制 |
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| 引用本文： | 吴英才.三甲胺[N(CH_3)_3]MIS传感器的研制[J].广东海洋大学学报,1998(3). |
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| 作者姓名： | 吴英才 |
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| 作者单位： | 湛江海洋大学工程学院!湛江，524025 |
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| 摘 要： | 研制探测鱼鲜度的传感元件。用含铟（In）杂质的TiO2材料作溅射靶，采用氩离子束镀膜机在硅片上镀膜，用常规蒸铝技术和光刻技术制成MIS结构。结果表明：在1MHz的测试频率下，当三甲胺浓度从0变化到0．1％时电容发生了250％的变化。在3V的偏压下，电流改变了450％。直接用鲜鱼测试时，在25h内该结构的电容和电流的响应很敏感，且接近线性关系。
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| 关 键 词： | 传感器 MIS结构 三甲胺 鱼鲜度 |
Development of Trimethylamine MIS SENSORS |
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| Wu Yingcai.Development of Trimethylamine MIS SENSORS[J].Journal of Zhanjiang Ocean University,1998(3). |
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| Authors: | Wu Yingcai |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Sensor MIS structure Trimethylamine Fish freshness |
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