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| 电子探针试样的表面蒸碳及碳膜厚度的自动控制 | |
| 引用本文： | 陈涛,张秉彝.电子探针试样的表面蒸碳及碳膜厚度的自动控制[J].地质科技情报,1988(4). |
| 作者姓名： | 陈涛 张秉彝 |
| 作者单位： | 中国地质大学 (陈涛)，中国地质大学(张秉彝) |
| 摘 要： | 文中简述了电子探针试样蒸镀碳膜及膜厚控制的意义,介绍讨论了几种膜厚监测方法,并在其中的一种方法——监测模拟样品表面电阻变化的基础上,给出了一个膜厚自动控制装置的设计方案,结合DV502蒸镀仪进一步介绍了该装置的电路原理、实际制作及其蒸镀技术. |
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