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| 三甲胺[N（CH3）3]MIS传感器的研制 | |
| 引用本文： | 吴英才.三甲胺[N（CH3）3]MIS传感器的研制[J].湛江海洋大学学报,1998,18(3):54-56. |
| 作者姓名： | 吴英才 |
| 摘 要： | 研制探测鱼鲜度的传感元件。用含铟杂质的ＴｉＯ２材料作溅射靶，采用氩离子束镀膜机在硅片上镀膜。用常规蒸铝技术和光刻技术制成ＭＩＳ结构２。结果表明：在１ＭＨｚ的测试频率下，当三甲胺浓度从０变化到０．１％，时电容发生了２５０％的变化。在３Ｖ的偏压下，电流改变了４５０％，直接用鲜鱼测试时，在２５ｈ内该结构的电容和电流的响应很敏感，且接近线性关系。 |
| 关 键 词： | 传感器 MIS结构 三甲胺 鱼鲜度 鱼类 |
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