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CCD的近红外敏化技术
引用本文:宋谦,季凯帆.CCD的近红外敏化技术[J].云南天文台台刊,1999(4):60-66.
作者姓名:宋谦  季凯帆
摘    要:理论上硅CCD在0.1nm到1.1μm之间都有响应,但通常此种器件在800nm以后量子效率下降明显,一般会小于50%,其中最主要的原因是近红外光子的吸收深度大于CCD的外延层厚度,使大量光子穿透整个器件。显然增加外延层的厚度是解决这一问题的良好途径,但随着外延层的增加,必须使用高阻抗的材料,否则会明显的减低分辨率,另外增透膜的使用也会使量子效率大幅度提高,而且有效的减弱了干涉条纹的影响,新型P沟道

关 键 词:CCD  量子效率  近红外敏化技术  探测器
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