| 应用于MEMS加速度计的小型恒温系统的实现 |
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| 引用本文： | 李建飞,薛兵,张俊峰,朱小毅,王晓蕾.应用于MEMS加速度计的小型恒温系统的实现[J].地震地磁观测与研究,2013,34(1). |
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| 作者姓名： | 李建飞 薛兵 张俊峰 朱小毅 王晓蕾 |
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| 作者单位： | 1. 中国北京100036 中国地震局地震预测研究所
2. 中国北京102628 北京港震机电技术有限公司 |
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| 基金项目： | 中国地震局地震预测研究所基本科研业务费专项 |
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| 摘 要： | 介绍一种小型恒温系统的实现方法,使MEMS加速度计的工作区域温度保持恒定,从而改善MEMS加速度计的相关技术指标.小型恒温系统采用独特工艺,实现简单；恒温点可以根据环境温度的变化而改变,以降低功耗.实验结果表明,应用该系统的MEMS加速度计,由温度所引起的零点漂移值明显减小.
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| 关 键 词： | 恒温系统 MEMS加速度计 零点漂移 低功耗 |
The design and implementation of mini thermal-stable system applying to MEMS accelerator |
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| Li Jianfei
,
Xue Bing
,
Zhang Junfeng
,
Zhu Xiaoyi
,
Wang Xiaolei.The design and implementation of mini thermal-stable system applying to MEMS accelerator[J].Seismological and Geomagnetic Observation and Research,2013,34(1). |
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| Authors: | Li Jianfei Xue Bing Zhang Junfeng Zhu Xiaoyi Wang Xiaolei |
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