| 基于剪应力检测的石英微结构及其陀螺效应研究 |
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| 引用本文： | 谢立强,吴学忠,李圣怡,王浩旭,董培涛.基于剪应力检测的石英微结构及其陀螺效应研究[J].海洋学报,2010,32(10):6896-6901. |
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| 作者姓名： | 谢立强 吴学忠 李圣怡 王浩旭 董培涛 |
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| 作者单位： | 国防科学技术大学,机电工程与自动化学院,长沙 410073;国防科学技术大学,机电工程与自动化学院,长沙 410073;国防科学技术大学,机电工程与自动化学院,长沙 410073;国防科学技术大学,机电工程与自动化学院,长沙 410073;国防科学技术大学,机电工程与自动化学院,长沙 410073 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重点项目(批准号:50735007)资助的课题. |
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| 摘 要： | 为了简化石英陀螺结构侧壁上的电极图形,设计了一种基于剪应力检测Coriolis力的新型石英微结构.通过对剪应力检测方案的分析,微结构侧壁电极的极性单一,采用锥度为15°的锥形梁结构作为敏感梁的设计可以增大敏感梁的检测灵敏度.通过各项异性湿法腐蚀z切石英片的方法制造了微结构样件.测试表明样件的驱动频率约为5.6 kHz,大气下的品质因子在5000以上.输出信号频谱的谱线存在Coriolis力信号,验证了设计思想的正确性.
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| 关 键 词： | 石英陀螺 剪应力检测 Coriolis力 |
A novel quartz micro-structure based on shear stress detection and its gyroscopic effect |
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| Xie Li-Qiang,Wu Xue-Zhong,Li Sheng-Yi,Wang Hao-Xu and Dong Pei-Tao.A novel quartz micro-structure based on shear stress detection and its gyroscopic effect[J].Acta Oceanologica Sinica (in Chinese),2010,32(10):6896-6901. |
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| Authors: | Xie Li-Qiang Wu Xue-Zhong Li Sheng-Yi Wang Hao-Xu and Dong Pei-Tao |
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| Institution: | College of Mechatronics Engineering and Automation, National University of Defense Technology, Changsha 410073, China;College of Mechatronics Engineering and Automation, National University of Defense Technology, Changsha 410073, China;College of Mechatronics Engineering and Automation, National University of Defense Technology, Changsha 410073, China;College of Mechatronics Engineering and Automation, National University of Defense Technology, Changsha 410073, China;College of Mechatronics Engineering and Automation, National University of Defense Technology, Changsha 410073, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micromachined quartz gyroscope shear stress detection Coriolis force |
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