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| 高纯石英质量的ICP检测技术初步研究 | |
| 引用本文： | 王艳,汪灵,李彩侠,段炯然,夏瑾卓.高纯石英质量的ICP检测技术初步研究[J].矿物学报,2012(Z1):116-117. |
| 作者姓名： | 王艳 汪灵 李彩侠 段炯然 夏瑾卓 |
| 作者单位： | 成都理工大学材料与化学化工学院;成都理工大学金刚石薄膜研究所 |
| 基金项目： | 国家公益性行业科研专项经费项目课题(201011005-5);国家自然科学基金(批准号:50974025);国家教育部高等学校博士点基金(20095122110015);国家人事部留学人员科技活动择优基金(川人社函[2010]32号) |
| 摘 要： | 高纯石英(high-purity quartz)是指w(SiO2)≥99.9%～99.999%(3N至5N)、w(Fe)<10×10-6的石英(汪灵等,2011),它是晶硅、石英玻璃和集成电路基板材料等生产的重要原料,在新能源和新材料等战略性新兴产业具有重要的地位和作用(汪灵等,2011;雷清普等, |
| 关 键 词： | 高纯石英 检测效果 测试结果 反应时间 质量 试剂 石英玻璃 集成电路 微量杂质 消解 |
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