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21.
本文描述了二维模型下电容耦合的直流放电计算过程.发展了适用于任意结构下非正交坐标系的算法.提出了决定边界条件的相关技术.程序设计中发展了网格生成系统,使程序更适用.并且用图表说明了半导体机械中的一种典型的应用.  相似文献   
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