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原子层沉积(ALD) 是下一代超大规模集成电路的首选工艺, 但是Cu籽晶层在阻挡层上的团聚限制了ALD工艺在半导体工业中的应用.目前对Cu在阻挡层TaN表面的团聚机理和行为还缺乏足够的理论认识, 为此利用第一性原理密度泛函理论(DFT) 对不同覆盖度下Cu原子在TaN (111) 表面的吸附能和电荷转移进行了研究, 结果显示, Cu在TaN (111) 表面的吸附强度随着Cu覆盖度的增加而减弱.利用从头算分子动力学模拟了500K温度下Cu单分子层在TaN (111) 表面的吸附动力学行为, 结果表明, 在这一典型的ALD温度下, Cu层在TaN (111) 表面发生团聚, 与实验中的观察结果相符. 相似文献
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This study,based on the physico-chemistry principle,establishes the mathematics model of the genesis of plagioclase osicllatory zoning,based on the crystal grouth principle ,the plagioclase crystallization velocity equation has been put forward.This equation has such a feedback character as “superasturation-nucleation-depletion cycle“ .Small-scale oscillatory zoning is attributable to self-organization,and has no bearing on environmental factors,Its genesis is corresponding to a relatively static environment. 相似文献
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第一原理计算过渡金属掺杂尖晶石型LiMn2O4的电子结构 总被引：1，自引：0，他引：1
尽管对过渡金属掺杂锰酸锂后放电平台的升高现象有众多实验研究,但对其机理的研究却鲜见报道.采用第一原理的密度泛函理论,计算了过渡金属M(M=Ti、Cr、Fe、Co、Ni、Cu、Zn)掺杂尖晶石型LiMn2O4的电子结构,并以此分析放电平台的升高机理.电子态密度分析发现由于M-3d能带的诱导作用,出现了新的O-2p能带,而锂脱出时获得的电子,主要是由费米能级附近O-2p能带提供的.当过渡金属M由Ti变化到Zn时,M-3d能带逐渐向低能量的方向移动,新的O-2p能带出现的位置也随之下移,当Li脱出时,需要更多的能量才能从低能量的O-2p能带上获得电子,因而体系能够获得较高的嵌入电压. 相似文献
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本文根据物理化学基本原理，提出HF的表面吸附催化机制对于CaF2-HCl-H2O固－液反应体系溶解振荡起着关键性作用。同时建立了该 体系的动力学模型，研究其振荡现象的非线性动力学起因，虽然这一数学模型是基于CSTR反应器为对象而建立的，不过其基本的结论对叠层式流动反应器的情况也是适用的。 相似文献
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本文提出了一个封闭体系的扩散数学模型,用来描述由于化学扩散而导致球状晶体发生的均匀化作用;结合扩散系数和一些岩石物化知识,就可能模拟待定岩石的温度—时间(T-t)史。作者根据斜长石的相图特征并应用该模型,提出了如何确定斜长石扩散初始条件的方法,描述了湖北省凤凰关地区混合岩浅色体中斜长石的均匀化作用;经计算表明:地壳冷却速率(s)为0.75℃/Ma;所提出的数学模型普遍适用于变质岩的冷却问题。 相似文献
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本文探讨了固溶体矿物中组分非韵律型空间分布的两种局域平衡结晶动力学模型: (1) 当固相中无扩散,而熔体中完全混合时,结晶作用满足如下模型: dx/ed=(x-f)/(1-e) (2) 当固相中无扩散,而熔体中仅有扩散时,结晶作用满足如下模型:提出了非韵律型组分空间分布的成因主要归因子岩浆的非平衡结晶和结晶过程中的动力学行为。 相似文献
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严格依据化学反应动力学的基本原理，建立了二组分非理想正规溶液的结晶速率表达式，对该作了理论分析，得到了系统定态失稳而产物ｈｏｐｒ分叉的必要条件是固相的交换能Ｗｓ与ＲＴ之比必须大于２的重要结论，并证明了系统在不同参数下可以出现超临界ｈｏｐｆ分和亚临界ｈｏｐｆ分叉。 相似文献
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低共结系统中存在着两种固溶体交替结晶生长和同时耦合结晶生长这两种生长方式，当液相组分的扩散慢时有利于共晶的交替结晶生长、液相组分拆散快时有利于共晶的耦合。前者有利于形成具有宏观振荡波长球状或条带状分带，后者有利于形成细观振荡波长的层状构造。 相似文献
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建立了晶体生长过程中晶面吸附步骤为控制步骤的非稳态界面质量守恒方程，并建立了微量元素的非线性吸附自催化反应模型，分析了表明远离平衡态时的非线性吸附催化机制可能是导致矿物中微量元素呈振荡型分布的起因之一。 相似文献